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专注涂胶显影设备的研发攻关上海众鸿完成超7000万元A轮融资
更新时间:2024-12-09 作者:米乐客户端
36氪获悉,近日,半导体设备制造商上海众鸿电子科技有限公司(以下简称“上海众鸿”)完成超7000万元A轮融资,由毅达资本、合肥产投旗下创新投及个人投资商联合投资。融资资金将大多数都用在产品研制、推进设备量产、业务扩展及市场营销等方面。
近年来,由于下游需求旺盛以及光刻用量的增大,涂胶显影行业处于高速上升期,增量市场不断上涨。VLSl多个方面数据显示,全球前道涂胶显影设备销售额由2013年的14.07亿美元增长至2018年的23.26亿美元,年均复合增长率达10.58%,预计2023年将达到24.76亿美元;全球前道单片式清理洗涤设施销售额由2013年的16.31亿美元增长至2018年的22.69亿美元,年均复合增长率达6.83%,预计2023年将达到23.14亿美元。
上海众鸿成立于2011年,是一家半导体制造设备研发商,专注于涂胶显影设备的研发攻关。团队侧,公司目前员工总数为89人,其中研发人员为22人(海外专家8人),占比约25%。创始人金浩天从事半导体集成电路设备行业迄今已15年,带领团队为韩国、日本、新加坡及中国台湾地区半导体制造客户提供设备技术服务,并将海外先进的技术导入应用于实体技术升级。
从发展脉络来看,上海众鸿在2018年成立自研攻关小组,基于此前15年的产业经验积累,开启自主研发涂胶显影设备之路。到了今天,其自研设备已经成功通过客户验证,并拿到客户正式订单近20台。
上海众鸿主要营业产品包括自研涂胶显影设备、金属剥离设备、单片旋转式清理洗涤设施等,业务覆盖半导体核心设备的多个领域,为客户提供多样化的解决方案和服务。
团队告诉36氪,为满足不同客户的前道晶圆制造工艺技术要求,众鸿分别在多样性、功能性、部件选型等方面做了差异化布局。
首先,功能性方面,众鸿的自研设备对不一样的尺寸的晶圆做到了友好兼容,如4寸和6寸、6寸和8寸、8寸和12寸兼容;其次,旗下产品的功能对客户不相同的基底材质、不同的产品能做到很好的适配。以设备最关键的机械手臂为例,众鸿就自行开发、制造,并一直在升级改良,同时也申请了不少的专利,可实现用户不同工艺需求的晶圆传送要求。
具体到产品矩阵,上海众鸿现已推出涂胶显影设备ZHT-200、涂胶显影设备ZHT-150、全自动金属剥离机(Metal lift off ) ZHL-200、旋转式清洗设备ZHS-200等。性能侧,以ZHT-200为例,通过涂胶显影单元、烘烤单元等配合,能够将芯片制程中需要的精细化图形在基底材料上显现出来,同时具有灵活组合的优势,可以满足客户不相同工艺的需求;同时支持跟光刻机Inline、KRF工艺匹配,可提供高精度热板、高精度机台环境控制、高精度化学品控温系统,支持客户的OHT、EAP、FDC等系统;可完美对应8寸(含8寸以下)的半导体前道制程。ZHT-150产品具备高稳定性、高集成度、占地面积小、性能优良等特性,对LED、功率器件等小尺寸产品的客户非常适配。
相关负责人透露,眼下,团队正在研发用于先进封装等领域的12寸设备,以及先进制程进程中所需要的专用机型。截至目前,上海众鸿拥有各项专利80余项,被评为“上海市高新技术企业”、“上海市专精特新企业”、“临港新片区重点企业”等。
上海众鸿创始人、董事长兼总经理金浩天表示:“本次成功融资将有利于众鸿逐步扩大市场占有率,提升自研产品竞争力,同时也为未来的发展注入新的活力。因此,此次融资成功不仅是众鸿发展壮大的一个重要里程碑,更是开启新篇章的始发点。我们将以此为契机,继续秉承众鸿成为‘领先的半导体核心设备制造商’的经营理念,为客户提供更优质的产品和服务。”
毅达资本项目负责人付轶潇表示:“半导体设备是毅达资本在半导体领域长期关注的赛道之一。众鸿所处的半导体核心工艺设备领域国产化替代需求较为强烈。其中,涂胶显影设备可应用于前道晶圆加工及后道先进封装,因技术门槛较高,目前国产化率处于较低水平。在国内晶圆加工产业越来越蓬勃的形势下,该设备未来市场空间巨大。众鸿具有先发优势,自研涂胶显影设备目前已成功实现量产,毅达资本希望未来能够发挥产业生态圈优势,助推众鸿国产自研设备全面打开市场,实现更大的突破。”
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