涂胶系统
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【48812】芯源微(688037SH)将于12月17日举行浸没式高产能涂胶显影机新品发布会
更新时间:2024-08-05 作者:米乐客户端
智通财经APP讯,芯源微(688037.SH)发布了重要的公告,在企业建立满二十周年之际,公司定于2022年12月17日上午10:30举行浸没式高产能涂胶显影机新品发布会,到时将经过上证报路演渠道对全商场发布。
本次发布的产品为公司最新的前道浸没式高产能涂胶显影机。该机型选用公司首创的对称散布高产能架构,满配36Spin处理单元,搭载公司自主研制的双向同步取放机械手,可大起伏的进步整机的机械传送产能和传送精度,可以匹配全球干流光刻机联机出产。该款机型经过选配可全面掩盖I-line、KrF、ArFdry、ArF浸没式等多种光刻技能,也适用包含SOC、SOH、SOD等在内的其他旋涂类使用。为应对未来光刻机产能的不断的进步,该机型还可扩大至更多处理单元,一起实现在低占地面积下统筹机台易保护性,有用提高机台保护功率。回来搜狐,检查更加多