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芯恩(青岛)集成电路获得光阻主动替换体系和涂胶显影设备专利提升了机台产出功率
更新时间:2024-12-15 作者:米乐客户端
金融界2024年12月7日音讯,国家知识产权局信息数据显现,芯恩(青岛)集成电路有限公司获得一项名为“光阻主动替换体系和涂胶显影设备”的专利,授权公告号CN 222105825 U,请求日期为2024年3月。
专利摘要显现,本实用新型供给了一种光阻主动替换体系和涂胶显影设备,光阻主动替换体系,包含处理模块、光阻瓶存储模块、别离与处理模块衔接的光阻用量监测模块和光阻瓶传输模块、以及与光阻用量监测模块衔接的主动跑货操控模块;光阻瓶存储模块包含光阻瓶寄存设备和主动调温单元光阻瓶寄存设备内存储有新光阻瓶,主动调温单元设置于光阻瓶寄存设备并与处理模块衔接,主动调温单元用于依据处理模块的调温指令调理光阻瓶寄存设备内的温度,以使光阻瓶寄存设备内的新光阻瓶提早完成退冰处理。本实用新型经过对光阻瓶提早进行退冰处理,以及树立光阻主动替换体系,使得节省了人力,提高了光阻替换的功率,缩短了宕机时刻,提升了机台产出功率,降低了人身危险。