【48812】路维光电请求功能型掩膜版专利有很大作用防备基板受杂质炮击呈现损害

更新时间：2024-08-05 作者：米乐客户端

  （原标题：路维光电请求功能型掩膜版专利，有很大作用防备基板受杂质炮击呈现损害）

  金融界2023年12月23日音讯，据国家知识产权局公告，深圳市路维光电股份有限公司请求一项名为“一种功能型掩膜版及其制备工艺、使用“，公开号CN117265494A，请求日期为2023年9月。

  专利摘要显现，本发明触及掩膜版制造技术领域，具体公开了一种功能型掩膜版及其制备工艺、使用，功能型掩膜版中的缓冲层在涂胶前，直接选用磁控溅射镀在图画层上，然后选用湿刻蚀工艺去除图画层待刻蚀方位所对应的缓冲层。本发明改动传统功能型镀膜制造流程与工艺，将缓冲层在基板涂胶前，直接镀在图画层上，把图画层作为基板的保护层，防止基底在磁控溅射制备缓冲层的进程中所发生的高能粒子炮击到基板上，有很大作用防备了基板受杂质炮击呈现损害，然后防止掩膜版产品作废。

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