扎根张江创业凡森璞瑞立足半导体材料突破卡脖子技术！

更新时间：2024-11-15 作者：米乐客户端

  近日，张通社在对上海凡森璞瑞新材料股份有限公司（以下简称“凡森璞瑞”）采访中，创始人、董事长邱凡说出了上述一段发自肺腑的心里话。

  这里提及的“材料”，专业名字叫前驱体。说起“前驱体”，大家可能比较陌生。但它的重要程度，完全不亚于大家熟知的“光刻胶”。它是半导体制作的完整过程中的核心材料之一，也是美国卡脖子关键材料之一。由于前驱体具有极高的行业壁垒，而被业内称为“小而美的细分赛道”。

  在这个赛道上，邱凡已经默默耕耘了二十多年。近些年，身处其中的邱凡，对美国卡脖子技术有了清醒的认识，他希望创办自己的公司，制造出供中国人使用的成膜前驱体产品。于是，2022年5月，怀揣着一腔热血，邱凡带领合作伙伴一同创办了凡森璞瑞。

  目前，凡森璞瑞已经在张江建立了研发总部，投资近亿元在湖北建造了生产基地，并已批量生产6种国产前驱体产品，基本实现用户的主流需求。对于突破卡脖子关键技术的“国产替代”，邱凡对此充满信心。

  2000年，邱凡从武汉理工大学电子信息工程专业毕业后，在当地的一家网站干了几个月。没过多久，他接到了全球半导体设备有突出贡献的公司科磊半导体（以下简称“KLA”）的面试，“稀里糊涂拿到offer了”，之后便一脚踏入半导体行业。

  彼时，中芯国际刚成立不久，国内半导体公司屈指可数，普罗大众对于半导体的真正概念更是“一片空白”。

  “KLA是做晶圆缺陷检验测试设备的，我最开始的岗位是硬件工程师。”在KLA工作的八年间，邱凡从硬件工程师到技术支持到项目负责人，最后成了武汉分公司的经理。因为应用领域太细分，中国区人又少，一台设备只有一位负责人，客户一个电话，他必须随叫随到。

  “那时候半导体设备在国内刚起步，遇上问题只能自己摸索着解决，否则就得去台湾调人，非常麻烦。”由于人手少，邱凡几乎把自己炼成了“全能艺人”。据他回忆，有一次他在中芯国际检测设备故障，一下子待了36个小时，终于解决了问题。

  正是对于工作的认真负责和技术上的专业能力，邱凡结识了中芯国际、华虹等不少半导体巨头里的同行，还时常被派往美国总部学习，短则四五天，长则三四月，最频繁的一年去了48次，护照都用了三本。

  21世纪初，中美之间还有不小差距，可每当邱凡从美国回来，上海的变化都令他感到诧异。这种变化不光发生在家门口的一条很快修好的路上，还体现在营商环境、创新生态等方面，这让他心里不免有些触动，心里暗想：“还是国内的发展日新月异”。

  在KLA干了七八年后，邱凡遇到了职业发展的瓶颈。“缺陷检验测试是集成电路产业链上比较细分的赛道，自己的技术是真的到头了。”于是，他决定跳出舒适圈，转入位于大连市的英特尔公司，工作岗位是缺陷检验测试工艺部门经理。依然是轻车熟路，这一干又是两年。

  “2011年，我回到上海进入ATMI（2014年被Entegris收购），担任电子材料中国区销售总监。”对于邱凡而言，这项工作，不仅是从设备到材料的行业跨越，更是从技术到销售这种工作方式的变化。

  “晶圆缺陷检验测试部门是唯一一个集成电路生产线上不碰材料的部门，对我来说完全是零基础。”为此，看资料、查字典成了邱凡每天的一项重要工作，“知道这些是什么化学物质，有什么特性，还要学习商务上的逻辑，才能成功卖出去”。

  “我花了两年的时间把相关的客户都跑了一遍，曾卖出过产品的全球最高价，拿到不少销售奖。”邱凡简单两句带过了那段长达九年的峥嵘岁月。在此期间，他进一步探索了半导体材料这个行业，也懂得市场端的运营逻辑，更积累了不少人脉，创业只差一个契机。

  2018年，美国对中兴实施了出口禁令。撕开一个口子后，更多的管制接踵而来：2019年，特朗普政府频繁以国家安全为由劝说其“朋友圈”禁用华为5G设备。2020年5月15日，美国商务部又将华为纳入“实体清单”，加码制裁。

  在美国的层层封锁之下，“国产替代”的紧迫性显而易见，本土芯片产业迎来加快速度进行发展的窗口期。“那时国内涌现了很多半导体创业公司，我们公司的业务却收缩得厉害。”邱凡敏锐地意识到半导体的奇点临近，“我要到战壕的另一边去”。他下定决心开启创业之旅。

  2022年5月，凡森璞瑞成立，总部设在张江。“当初在KLA时就在张江办公，现在自己创业当然要回到这里。”邱凡告诉张通社，在入驻时，张江孵化器协助其成功申请到了房租补贴，减轻了企业金钱上的压力。“此外，张江孵化器还经常举办政策解读、财务法规、投融资路演等培训和科创活动，对我们的起步成长有很大帮助”。

  “我们有研发技术团队、质量管理团队、生产管理团队和市场销售团队。”邱凡介绍，四个团队均有至少十余年的行业经验，曾服务台积电、中芯国际、华虹宏力、长鑫半导体等业界标杆客户。

  据了解，凡森璞瑞专注于半导体⾏业关键电⼦材料的研发和制造，主营业务为关键半导体材料的研发及产业化，产品有前驱体材料及电子级特气，主要使用在于集成电路、先进封装及面板显示等领域。

  不同于光刻胶，前驱体产品在半导体材料领域中鲜少有人了解。它大多数都用在半导体集成电路制作的完整过程中的薄膜沉积工艺中，通过化学反应等方式在集成电路晶圆表明产生具有特定电学性质的薄膜，是仅次于硅片的使用量最大的材料类别，也是美国卡脖子关键材料之一。

  2023年5月，邱凡在老家湖北随州创立工厂，投资近亿元，占地62亩，建有百级和千级⽆尘车间、SEMI标准分析实验室、甲类⽣产⻋间、甲/乙类危化品仓库等。今年7月1日，工厂成功开启试生产，两周内第一个产品便成功通线。

  “我们第一批样品已经送往韩国验证。”邱凡介绍，目前，凡森璞瑞拥有包括前驱体、特气、特种容器、电子级磷产品、碳化硅抛光液等系列新产品，已批量供货6种国产前驱体产品，在研9种，基本实现用户主流需求。下一步持续投入研发，以达成全品类国产化目标。

  数据显示，2023年全球半导体前驱体市场规模为21亿美元；至2027年，可达30亿美金，折合人民币约195亿元。2024年中国半导体前驱体市场规模为7.8亿美元，2028年将达11.57亿美元，2021-2028年复合增长率预计约10%。

  作为国内乃至全球少有的前驱体研发和制造企业，凡森璞瑞的竞争力不言而喻。“我们是国内唯一一家覆盖研发和测试、纯化和量产、分装和运输的企业，连原材料都是自己合成的。”邱凡的语气中透着自豪。

  目前，凡森璞瑞有3个在筹划的项目。一是与中核陕西铀浓缩有限公司联合研发PEM法高纯氘气电解法并实现产业落地和联合研发减压钢瓶项目。前者解决高纯氘气技术落后问题；后者解决离子注入混气包装物卡脖子问题。

  二是与航天六院教师团队联合研发半导体级分子泵项目和研发光刻点胶泵项目，分别针对半导体级真空泵国产技术落后和光刻胶涂布领域卡脖子问题。

  “我们还和国内顶尖高校研发铪锆前驱体分离项目，以此来解决High-K铪锆金属前驱体铪锆分离问题。”据邱凡介绍，铪氧化物薄膜应用于COMS和下一代DRAM中的候选高介电常数（High-k）绝缘层材料，目前是工厂二期的重点项目。

  如今，AI浪潮席卷全球，算力成为AI企业的军备竞赛；可后摩尔时代，晶体管密度上涨的速度放缓，制程工艺逼近物理极限，电子芯片已无法满足。

  “铪能解决这一瓶颈，它能够明显降低漏电量的同时保持高电容，来提升算力。”邱凡认为，在人工智能正快速地发展的当下，铪这一半导体材料市场相当可观。

  尽管凡森璞瑞成立时间不过两年，但邱凡已为公司的发展画好了“施工图”。“我们预计今年在7000万左右的销售额，之后每年以50%的涨幅逐年递增。”对于未来，邱凡充满豪情壮志。

  “我们一定会在这样的领域完成国产替代，否则我们公司创办的没有意义！将来，我们还需要将工厂开到国外去！”