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芯源微新注册《芯源高产能Track涂胶显影体系操控体系软件V10》等4个项意图软件著作权
更新时间:2025-05-05 作者:米乐客户端
证券之星音讯,近来芯源微(688037)新注册了4个项意图软件著作权,包含《芯源高产能Track涂胶显影体系操控体系软件V1.0》、《芯源前道热板嵌入式温度操控体系软件V1.0》、《芯源涂胶显影体系KS-CF200-4C8D操控体系软件V1.0》、《芯源小型化晶圆边际曝光单元操控体系软件V1.0》等。今年以来芯源微新注册软件著作权5个,较去年同期减少了28.57%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研制方面投入了1.17亿元,同比增52%。
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