芯源微取得实用新型专利授权：“一种具有弹性结构的涂胶机摆臂”

更新时间：2025-02-03 作者：米乐客户端

  证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现芯源微（688037）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“一种具有弹性结构的涂胶机摆臂”，专利申请号为CN2.1，授权日为2025年1月28日。

  专利摘要：本实用新型归于涂胶机技术领域，具体地说是一种具有弹性结构的涂胶机摆臂，包含摆臂基板、前后驱动件、转接架、喷胶头装置板及喷胶头组。摆臂基板与涂胶机的横移组织衔接，前后驱动件装置于摆臂基板上，转接架与前后驱动件的驱动端衔接，喷胶头装置板衔接于转接架上，喷胶头装置板上设置有喷胶头组，每个喷胶头组均包含沿左右方向均匀设置的若干个喷胶头。本实用新型可多排设置喷胶头，并能够由前后驱动件带动喷胶头装置板完成前后移动，进而使每路胶均能喷涂在晶圆中心，防止仅在单一一排设置更多喷胶头而使得适配的横移组织及摆臂本身在横向占有过多空间的问题，能够兼容的光刻胶品种添加，更适用于需求较多胶路需求的工艺。

  今年以来芯源微新取得专利授权5个，较去年同期添加了150%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研制方面投入了1.17亿元，同比增52%。

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