涂胶系统及方法

更新时间：2025-04-20 作者：米乐客户端

  [0002]一般Film(薄膜)材料来光阻涂布，基本都是采用干膜贴附的方式来进行涂布，由于干膜基材相比湿膜较厚，在后续光刻、刻蚀时难以加工成为细线路产品。通过涂布液态胶形成的湿膜可以很薄，使产品精度可大幅提升。

  [0003]湿膜虽能涂布在如玻璃、硬质塑料板等硬质片材上，但是很难涂布在柔性片材上。湿膜涂布后一定要进行烘干，而柔性片材特有的弯曲性，使之难以搬运和移载。

  [0004]基于此，有必要针对在柔性片材上涂布液态胶后难以搬运导致没办法烘烤的问题，提供一种涂胶系统及方法。

  [0005]一种涂胶系统，用于在柔性片材上涂布液态胶，所述涂胶系统包括承载设备、涂布设备和烘烤设备；

  [0007]所述涂布设备用于将所述液体胶涂布在位于所述承载设备上的所述柔性片材上;

  [0008]所述烘烤设备用于加热所述承载设备，从而将涂布有所述液体胶的所述柔性片材烘干。

  [0009]在其中一个实施例中，所述承载设备包括具有真空吸附功能的涂胶平台。

  [0010]在其中一个实施例中，所述涂布设备包括刮刀和控制机构，所述刮刀和所述控制机构连接，所述控制机构控制所述刮刀相对所述涂胶平台移动，从而在所述柔性片材上刮涂所述液态胶。

  [0011]在其中一个实施例中，所述烘烤设备包括加热室和加热平台，所述加热室内形成密闭加热腔，所述加热平台位于所述密闭加热腔的底部；

  [0012]所述承载设备包括涂胶平台和移动机构，所述移动机构能够将所述涂胶平台移动至所述密闭加热腔内。

  [0013]在其中一个实施例中，所述移动机构为滑动轨道，所述涂胶平台与所述滑动轨道滑动连接。

  [0014]在其中一个实施例中，所述承载设备还包括基础平台，在所述柔性片材上涂布所述液态胶时，所述涂胶平台位于所述基础平台上；

  [0015]所述移动机构能够使所述涂胶平台在所述基础平台和所述密闭加热腔之间移动。

  [0016]在其中一个实施例中，所述烘烤设备的数量为多个，所述涂胶平台的数量为多个。

  [0017]一种涂胶方法，利用涂胶系统在柔性片材上涂布液态胶，所述涂胶系统包括承载设备、涂布设备和烘烤设备；

  [0019]所述涂布设备用于将所述液体胶涂布在位于所述承载设备上的所述柔性片材上;

  [0020]所述烘烤设备用于加热所述承载设备，从而将涂布有所述液体胶的所述柔性片材烘干；

  [0024]所述烘烤设备加热所述承载设备，从而将涂布有所述液体胶的所述柔性片材烘干。

  [0025]在其中一个实施例中，所述承载设备包括具有真空吸附功能的涂胶平台；

  [0026]在所述将所述柔性片材放置在所述承载设备上的步骤之后，在所述涂布设备在所述柔性片材上涂布所述液态胶的步骤之前，还包括所述涂胶平台紧密吸附所述柔性片材的步骤。

  [0027]在其中一个实施例中，所述烘烤设备包括加热室和加热平台，所述加热室内形成密闭加热腔，所述加热平台位于所述密闭加热腔的底部；所述承载设备包括涂胶平台和移动机构，所述移动机构能够将所述涂胶平台移动至所述密闭加热腔内；

  [0028]在所述涂布设备在所述柔性片材上涂布所述液态胶的步骤之后，在所述烘烤设备加热所述承载设备，从而将涂布有所述液体胶的所述柔性片材烘干的步骤之前，还包括所述移动机构将所述涂胶平台移动至所述密闭加热腔内的步骤。

  [0029]上述涂胶系统及方法，烘烤设备直接加热放置所述柔性片材的承载设备，从而将涂布有液体胶的柔性片材烘干，柔性片材在烘干前不需要搬运和移载，避免了柔性片材破损，同时提高了加工效率。且由于液体胶相对于干膜材料出现的较早，液体胶材料相对成熟和成本低廉。

  [0033]为便于理解本发明，下面将参照相关附图对涂胶系统及办法来进行更全面的描述。附图中给出了涂胶系统及方法的首选实施例。但是，涂胶系统及办法能够以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对涂胶系统及方法的公开内容更加透彻全面。

  [0034]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在涂胶系统及方法的说明书里面所使用的术语仅仅是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

  [0035]如图1所示，一实施方式的涂胶系统10包括承载设备100、涂布设备200和烘烤设备300，涂胶系统10用于在柔性片材上涂布液态胶。柔性片材的材质包括但不限于PET (polyethylene terephthalate，聚对苯二甲酸乙二醇醋)、聚乙稀等有机材料。

  [0036]承载设备100用于放置柔性片材。承载设备100可以包括涂胶平台120，柔性片材放置在涂胶平台120上进行涂胶操作。柔性片材能手动的平铺到涂胶平台120上，也能够最终靠机械设备移送到涂胶平台120上。在一实施例中，涂胶平台120具有真空吸附功能，可以把柔性片材紧密吸附，防止涂胶过程中柔性片材卷曲或发生位移。

  [0037]涂布设备200用于将液体胶涂布在位于承载设备100上的柔性片材上。在其中一个实施例中，涂布设备200包括刮刀和控制机构，刮刀和控制机构连接，控制机构控制刮刀相对涂胶平台120移动，从而在柔性片材上刮涂液态胶。在涂胶平台120紧密吸附柔性片材后，刮刀下降，自左向右或自右向左均匀的刮涂液态胶，从而在柔性片材上形成湿润的膜。在刮刀到达预设的位置，完成涂布之后，刮刀运动到初始位置。

  [0038]烘烤设备300用于加热承载设备100，从而将涂布有液体胶的柔性片材烘干。烘烤设备300直接加热放置柔性片材的承载设备100，从而将涂布液体胶后的柔性片材烘干，柔性片材在烘干前不需要搬运和移载，避免了柔性片材破损。

  [0039]一般的干膜帖附技术所能加工的产品精度较差，产品的线um，而通过本实施例的涂胶系统10加工的产品，能做到线um，进而可以生产高精度线]同时，本实施例的涂胶系统10还能大大的提升加工效率。一般的干膜帖附技术中，干膜相对其他可贴附的产品还是较薄，所以贴附效率、贴附难度都相对较大。本实施例的涂胶系统10通过刮涂液体胶进行涂布，然后直接将液态胶烘干，效率可极大的提升。且由于液体胶相对于干膜材料出现的较早，液体胶材料相对成熟和成本低廉

  [0041]在其中一个实施例中，烘烤设备300可以包括加热室320和加热平台340，加热室320内形成密闭加热腔360，加热平台340可以位于密闭加热腔360的底部。在一实施例中，加热平台340加热使密闭加热腔360保持恒温。承载设备100包括涂胶平台120和移动机构(图中未示出)，移动机构能够将涂胶平台120移动至密闭加热腔360内。移动机构可以是滑动轨道，涂胶平台120与滑动轨道滑动连接。

  [0042]加热平台340在涂胶平台120的底部加热，热气流向上运动，加热效率高，可以高效的烘干液体胶。在其他实施例中，加热平台340可以被其他用于加热的元件替代，该元件能位于密闭加热腔360的其他位置，能够均匀加热即可。

  [0043]在一实施例中，承载设备100还可以包括基础平台140，在柔性片材上涂布液态胶时，涂胶平台120位于基础平台140上。涂胶平台1

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