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烤胶机专业制造商-深圳市邦企创源科技有限公司
更新时间:2025-10-23 作者:米乐客户端
主动滴胶匀胶机大多数都用在液体,胶体在资料外表薄膜的构成,智能嵌锁,体系盖板具有智能嵌锁设备,确保操作安全;防腐设备,设有维护气体设备,旋涂过程中对旋转马达进行气流维护,通讯接口,蓝牙衔接;适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版外表涂覆工艺。可在科研,教育中运用。
首要运用于溶胶凝胶(Sol-Gel)试验中的薄膜制造,其作业原理是高速旋转基片,运用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时刻有关。依照每个用户需求,滴胶匀胶机机配套运用作用更好。
处理腔体内径不小于9.5英寸 (241毫米, Wafer芯片尺寸至少满意10-150mm直径的资料,方片125x125mm,无需替换片托,腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯原料;
滚动速度至少满意0-12,000rpm,旋涂加速度不小于12,000rpm/sec,马达旋涂转速安稳功能差错不超越±1%;
工艺时刻设定规模至少满意1-5999.9sec/step ,精度不超越0.1s,配有高精度PLC可编程的控制器,设置点精度小于0.006%,可存储不少于20个程序段,每个程序段可设置不少于51个不同过程的速度状况,分辨率要小于0.5RPM,重复性差错要小于±0.5RPM,具有世界NIST规范认证,而且无需再校准;
配套线毫米汞柱)可调理,抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ;
原装进口水平测试仪;两袋密封圈;配有两套可替换的废液接纳单元; UD主动滴胶设备:UD-3带倒吸设备的多喷嘴可编程针筒;EBR晶圆去边,机械设备;
半导体工艺、制版及外表涂覆,可在工矿企业,科研教育等单位作出产、科研、教育之用。
4,平稳转速,预设值与实践值 差错率 1‰ 。有视频为证(如想观看视频,请联络我)
可用丙酮擦洗,NPP的化学安稳性优异,对大多数酸、碱、盐、氧化剂都显 惰 性。例如在100℃的浓磷酸、盐酸、40%硫酸及其它们的盐类溶液中都是安稳的。



