EUV光刻

更新时间：2024-08-11 作者：米乐客户端

  ?光刻工艺是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。 自1961年第一台光刻机诞生以来，光刻机经历了接触式接近式投影式的发展路线，如今以投影式中的步进扫描式光刻机为主流

  近日，来自冲绳科学技术大学院大学（OIST）的Tsumoru Shintake教授提出了一项革命性的极紫外（EUV）光刻技术，该技术不仅超越了现有半导体制造的界限，更预示着行业未来的新篇章。

  7月18日，京华激光（603607.SH）竞价一字涨停。 当日早盘，光刻机、光刻胶概念异动拉升，蓝英装备（300293.SZ）盘中触及20CM涨停板，东方嘉盛（002889.SZ）实现10CM涨停，芯源微、张江高科等涨幅居前

  以光为刀的光刻技术 引文 光的出现以及每一次发展都是人类社会的一大进步：地球上出现的

  当地时间6月11日，光刻机巨头ASML在官方社媒上发文，以悼念公司创始人之一维姆·特罗斯（Wim Troost）逝世，享年98岁。

  日前，荷兰光刻机巨头ASML和半导体大厂imec宣布，双方将在荷兰费尔德霍芬（Veldhoven）共同设立了一家高数值孔径（NA）极紫外线（EUV）光刻实验室。

  俄罗斯将国家的技术主权纳入了一系列关键发展目标，俄罗斯首台光刻机已经制造完成并正在来测试。该设备可确保生产350nm（0.35μm）的芯片，应用于汽车、能源和电信等多个行业。

  据韩媒报道，英特尔已经获得了阿斯麦（ASML）在明年上半年制造的大部分高数值孔径 (NA) 极紫外 (EUV) 光刻设备。

  芯片大厂英特尔宣布，已完成了世界上第一台商用高数值孔径（NA ）极紫外光刻（ EUV）扫描仪的组装工作。

  近期，中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室张军勇副研究员团队联合哈尔滨工业大学赵永蓬教授课题组首次完成EUV和软x射线分束器的设计与实验验证，该研究有望解决极紫外和x射线波段的衍射成像和干涉传感的分束器受限问题。

  近期，中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室张军勇团队联合哈尔滨工业大学赵永蓬教授课题组首次完成EUV和软x射线聚焦光场的阵列调控与整形，解决了极紫外和x射线波段的衍射成像和干涉传感的元器件受限问题。

  近日，武汉元禄光电技术有限公司（以下简称“元禄光电”）设计研发的1000×1650mm大尺寸钙钛矿P1／P2／P3成套激光划线设备在客户端实现交付，本设备主要使用在于第三代大尺寸钙钛矿薄膜太阳能电池的精

  近日，德国光学组件和传感器系统供应商——业纳（Jenoptik）宣布，正在为在建中的德累斯顿高科技工厂投资配备一套最先进的电子束光刻系统系统，投资金额高达数百万欧元。

  外媒指出今年ASML的10台2纳米光刻机分配已经基本确定了，Intel拿到6台，三星获得3台，台积电只能得到一台，考虑到美国对ASML的强大影响力，外媒的这些消息应该有较高的可信性。 Intel

  外媒报道指ASML今年量产的10台2纳米光刻机将有6台优先交付给Intel，这在某种程度上预示着台积电和三星将只能争夺剩下的4台，并且这4台光刻机的量产时间也较晚，将导致它们在2纳米工艺研发方面落后于Intel。

  “该项目成果属国产首台套在线高速激光刻痕设备，填补国内空白，整体技术达到国内领先水平”。12月22日，在广州由中国钢铁工业协会主持的、由广州翔声智能科技有限公司（以下简称翔声智能）完成的“取向硅钢在线高速激光刻痕设备关键技术及应用”科技成果评价会上，评价委员会得出以上评价结论

  日前消息指光刻机巨头ASML预计明年量产10台第二代EUV光刻机，其中6台已确定被美国芯片企业Intel夺下，剩下的两台将由三星和台积电竞争，如此一来拿到更多第二代EUV光刻机的美国可望率先量产2纳米，反超台积电

  美国纽约州宣布与IBM、美光、应用材料和东京电子等公司合作，共同投资100亿美元扩建纽约州的奥尔巴尼纳米技术综合体，最终将其打造成一个高数值孔径极紫外（NA - EUV）光刻中心。

  多家新闻媒体报道指ASML二季度对中国的光刻机出口大幅度增长，一季度对华光刻机出口大约8台，二季度则猛增至27台，环比暴涨234%，显示出ASML可能考虑到9月1日后对华光刻机出口受限，而加紧对华出货。

  多家新闻媒体报道指国内知名存储芯片企业长江存储的董事长指出已买回的光刻机因维护和零件问题可能没办法使用，因此提出基于公平原则，ASML理应回购这些光刻机，凸显出中国芯片企业的愤怒。 由于美国的阻挠，A

  荷兰方面正式公开宣布了最新的决定，要求企业出口先进设备前需要获得许可证，新规将在9月1日生效，明眼人都知道这一规定针对的是谁，不过荷兰此举影响的将不仅是中国芯片，对它自家的芯片设备产业也将造成打击。

  美国拉拢了日本、荷兰，从芯片设备方面进一步加码限制中国芯片，不过日前知名院士倪光南认为中国在存储芯片方面有自己的核心知识产权，不会受EUV光刻机的限制所影响。 据了解目前全球主流的NAND f

  众所周知，目前全球仅有一家厂商，能够生产EUV光刻机，它就是荷兰的ASML。而之所以全球仅此一家，是因为ASML将很多关键的厂商捆绑在了一起，比如德国光学公司蔡司（Zeiss），再比如美国的Cymer，再比如德国的通快集团（TRUMPF）等

  近日，中国科学院理化技术研究所仿生智能界面科学中心有机纳米光子学实验室研究员郑美玲团队在跨尺度微纳拓扑结构制备及细胞球浸润性调控方面取得了新进展。

  中科院理化所仿生智能界面科学中心有机纳米光子学实验室郑美玲研究员团队近日在跨尺度微纳拓扑结构制备及细胞球浸润性调控方面取得了新进展。该团队提出采用飞秒激光无掩膜投影光刻技术（MOPL）制备大面积兼具高精度的微盘阵列拓扑结构以研究细胞球的浸润性。

  随着组织工程领域的发展，生物材料界面与细胞的相互作用及物理机制成为研究热点。生物界面的拓扑形貌可以有效调控细胞行为并影响细胞功能。而体内的一些生理过程如胚胎发育、免疫应答和组织更新与重塑等往往涉及多细胞的集体行为

  预计未来一段时间，在技术创新推动下，我国步进式光刻机行业发展速度将进一步加快。 光刻机大体上分为扫描式光刻机和步进式光刻机两种，步进式光刻机为市场主流产品。步进式光刻机指把投影掩模版上的图形与涂胶硅片进行对准，而后从一点到另一点进行逐场曝光操作的光刻机

  德国研究人员开发出了一种紧凑的极紫外（EUV）激光模块——可拿来产生特殊的EUV光，它不仅打破了以往EUV光实验只能在昂贵的大型研究设施中进行的限制，还带来了更高的成本效益。

  美国研究小组通过发射飞秒激光并使之穿过充满气体的波导，成功地生成了非常紧凑、功率强大的极紫外辐射（EUV）光束。其峰值功率接近兆瓦，产生纳米级的光波，但整个设备能放在一个中等大小的桌子上。

  知情郎·眼｜科技那些事儿半导体领域作为我们国家科技发展的短板，在这样的领域一直受限于人，但中企们也没选坐以待毙，大力推动自研芯片和自研半导体设备的发展，进一步实现自主可控。如今哈工大公布新成果，光刻机关

  通过使用钛:蓝宝石（Ti：Sapphire）激光和中红外自由电子激光来构造硅，日本科学家们已经证明了激光诱导的周期性表面结构(LIPSS)是如何随激光性质而发生明显的变化的。

  近日，武汉宇微光学软件有限公司（以下简称“宇微光学”）宣布完成A轮数千万融资，致道资本联合武汉光谷产业投资、烽火创投三家机构共同参与投资。本轮融资完成后，宇微光学将逐步加强各核心模块的集成化与软件产品化，同时对各项软件参数进行标定、测试与验证

  6 月 30 日消息，据 BusinessKorea 报道，三星电子副董事长李在镕于 6 月中旬结束了对欧洲的商务访问，此行他与 ASML 公司就引进该荷兰半导体设备制造商的下一代极紫外（EUV）光刻设备做了会谈。

  ASML光刻机就目前来看，其拥有着芯片研究部最核心的激光设备——光刻机，并且，对于EUV后台零配件早已形成一套标准供应链闭环，这也是ASML公司全球最大半导体设备制造商原因之一。

  近期，高端光学装备及机器视觉光源厂商科视光学完成了近4亿元C轮融资，本轮融资由中芯聚源、民生股权互助基金、洪泰基金联合领投，产业投资方鑫睿资本、分享投资等跟投。云岫资本担任本轮融资独家财务顾问。科视光

  最新报告数据显示，激光材料市场在2021年预计为18亿美元，到2028年有望达到约20亿美元的估值，2022-2028年间以5.8%的复合年增长率发展。激光材料市场的增长是由光刻技术的激增需求、各种终端垂直领域激光的一直增长以及军事工业的增长所驱动的。

  项目概况激光直写无掩模光刻机曝光机采购 招标项目的潜在投标人应在线上获取获取招标文件，并于2022年05月10日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：ZZ0023－G22

  北京市公共资源交易服务平台日前发布《投影光刻机曝光光学系统研发及批量生产基地项目洁净工程中标候选人公示》，四联智能技术股份有限公司等三家企业位列中标候选人。公开资料显示，该生产基地建筑设计企业为北京国望光

  俄乌开火引发全球关注，给芯片行业带来了巨大的风险，并加剧了当前供应链的紧张局面。所谓牵一发而动全身，你可能想不到的是，这也与激光行业产生了一定的关联：这种用于光刻机的光刻气体，就是大部分主流光刻机“光源”不可或缺的一种重要原材料。

  德国通快集团在不久前完成了第200台EUV光刻机光源的发货。通快预计，在2022财年EUV业务销售额将大幅度的增加到6亿欧元。